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    氟油在愛德華螺桿真空泵上的應用

    責任編輯:品雅真空設備 發表時間:2023-01-02 瀏覽:141 次

    蘇威氟油FOMBLIN DRYNERT 25/6具體性能如下:
      1、化學穩定性:
    DRYNERT 25/6 化學性能非常穩定,耐強酸,包括極強的路易氏酸,耐強堿。性能非常穩定,與接觸的任何特種氣體如氟氣,SiH4等,強腐蝕性物質,強氧化劑,還原劑等均不發生反應。
      2、不燃燒性:
    DRYNERT 25/6 分子結構中不含氫元素,耐氧化,不會燃燒,無閃點,無燃點,可避免任何火災的隱患,達到半導體行業安全性的要求。
      3、熱穩定性:極低的蒸發率和降解率,能夠避免任何殘留物的形成而影響半導體工業中反應室的純凈度及高真空度的維持。
      4、卓越的潤滑性能:尤其在比較寬的操作溫度范圍,在高負載,高壓強的情況下,
    DRYNERT 25/6 均具有良好的潤滑性能,能夠減少磨耗,尤其對于真空泵及壓縮機等設備維持優良的運行性能等等非常重要。
      5、粘度和蒸氣指標穩定可靠: 能夠保持極低的回流率,從而能夠持續地保證系統的高真空度。
      綜上所述,杜邦全氟聚醚產品-
    DRYNERT 25/6 真空泵油完全能夠滿足半導體工業的要求,尤其是針對半導體芯片加工過程中如刻蝕劑和沉淀過程中所面臨的特殊氣體,強腐蝕性化學物質,均能保證其操作的安全與可靠。
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