真空鍍膜技術中常見的真空泵,真空鍍膜技術是真空泵應用技術的一個重要分支,它已普遍地應用于光學、電子學、能源開發,理化儀器、建筑機械、包裝、民用制品、外表科學以及科學研討等范疇中。
真空鍍膜所采用的辦法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流堆積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣相堆積法。假如從真空鍍膜的目的是為了改動物質外表的物理、化學性能的話,這一技術又是真空外表處置技術中的重要組成局部?,F就其幾個主要應用方面做一簡單引見。首先在光學方面,一塊光學玻璃或石英外表上鍍一層或幾層不同物質的薄膜后,即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作任何預期比例的反射或透射資料,也能夠作成對某種波長的吸收,而對另一種波長的透射的濾色片。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡和各種激光器開端、不斷到新型建筑物的大窗鍍膜茉莉,都很需求。增透膜則大量用于照相和各種激光器開端、不斷到新型建筑物的大窗鍍膜玻璃,都很需求。增透膜則大量用于照相機和電視攝象機的鏡頭上。
在電子學方面真空鍍膜更占有極為重要的位置。各種范圍的繼承電路。包括存貯器、運算器、通知邏輯元件等都要采用導電膜、絕緣膜和維護膜。作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。